项目

规格

型号

TH11

仪器功能

在线铜厚检测 

测量板尺寸

200mm * 220mm — 650mm * 620mm

测量板厚度

0.05mm - 12mm

铜厚测试范围

0.1- 120μm

铜厚测试区面积

＞10mm*15mm

铜厚测试精度

±5%

铜厚测试控制器

FISHER（MMS PC2 BU）

铜厚测试探头

FISHER（PROBE ERCU N）

测试效率

6point：6-9S/pc ， 18poin：10-13S/pc

测试点定位精度

±3mm

测试点

1.Dir导⼊测试点

2.Gerber导⼊测试点

3.软件指定，均布5点，9点

平台输送速度

 6M/min、12M/min

统计功能

yes

收板功能

选配

⼯作环境温度

 22±3℃

电源要求

AC220V 50HZ

气源要求

0.12-17.8Mpa

功率

2KW

重量

500KG

外形尺⼨

 L*W*H（mm）1536*1245*1420(平台900)